據南方財富網概念查詢工具數據顯示，光刻機概念龍頭股有：
大族激光002008：
光刻機龍頭，近7日大族激光股價上漲8.6%，2025年股價上漲8.93%，最高價為28.3元，市值為282.63億元。
2020年6月17日公司在互動平臺稱：公司在研光刻機項目分辨率3-5μm，主要聚焦在分立器件、LED等領域的應用，今年有望實現小批量銷售。
飛凱材料300398：
光刻機龍頭，回顧近7個交易日，飛凱材料有3天上漲。期間整體上漲2.1%，最高價為19.35元，最低價為20.12元，總成交量1.75億手。
光刻機概念股其他的還有：
東材科技601208：近5日東材科技股價上漲13.76%，總市值上漲了21.61億，當前市值為157.03億元。2025年股價上漲56.94%。
上海機電600835：近5日上海機電股價上漲14.4%，總市值上漲了39.78億，當前市值為276.34億元。2025年股價上漲33.68%。
萬業企業600641：近5個交易日股價上漲5.9%，最高價為15.25元，總市值上漲了8.28億，當前市值為140.43億元。
電科數字600850：回顧近5個交易日，電科數字有3天上漲。期間整體上漲0.15%，最高價為26.39元，最低價為25.63元，總成交量4846.9萬手。
華微電子600360：近5日股價上漲1.33%，2025年股價上漲44.48%。
東方明珠600637：回顧近5個交易日，東方明珠有2天上漲。期間整體上漲1.14%，最高價為8.03元，最低價為7.77元，總成交量2.15億手。
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